Jelen cikkben egy továbbfejlesztett számítási eljárást mutatok be a berillium, molibdén és volfrám elektron-visszaszórási együtthatóinak (BSC) meghatározására 0,1–100 keV közötti elektronenergiák esetén. A számítások korszerű Monte-Carlo-szimulációs módszerrel történtek külön-böző energiaveszteségi függvény (ELF) adatkészleteket alkalmazva bemeneti paraméterként. Az elektronok rugalmatlan szórási keresztmetsze-tét a relativisztikus dielektromos függvény formalizmusából vezettem le, ahol Penn teljes algoritmusa felhasználásra került az optikai határban (q → 0) mért ELF kiterjesztésére a teljes (q, ω) síkra. Az eredmények igazolták, hogy az energiaveszteségi függvény pontossága jelentősen befolyásolhatja a számított visszaszórási együtthatót, továbbá, hogy ez szoros kapcsolatban áll az f- és ps-összegzési szabályokkal.

Determination of the Backscattering Coefficient of Beryllium, Molybdenum, and Tungsten Using a High-Precision Monte Carlo Simulation

An improved computational procedure for determining the electron backscattering coefficients (BSC) of beryllium, molybdenum, and tungsten for electron energies ranging from 0.1 to 100 keV is presented in this article. The calculations were performed using a state-of-the-art Monte Carlo-simulation method, incorporating various energy loss function (ELF) datasets as input parameters. The inelastic scattering cross section of electrons was derived from the relativistic dielectric function formalism, utilizing Penn's full algorithm to extend the ELF measured in the optical limit (q → 0) to the complete (q, ω) plane. The results demonstrate that the accuracy of the energy loss function significantly impacts the calculated backscattering coefficient, which is closely related to the f- and ps-sum rules.